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ALD上下料機

產品特點

最高產能可達到16000pcs/h

可根據客戶需求進行配置

特制精密陶瓷吸盤,陶瓷頂齒，陶瓷側齒，減少硅片劃傷，保證設備的穩(wěn)定性

ALD上下料機技術參數
技術參數相關參數
產能8000/11000/16000 pcs/h
金屬舟規(guī)格 200槽 ，節(jié)距2.38mm
硅片尺寸 166mm-210mm
適用花籃100 casstte
碎片率≤0.03%
開機率≥98%
耗氣量1000L/min
具體參數如有變動，本公司不另行通知！
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